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上海晰微光电技术有限公司
超长工作距离物镜典型应用
来源:日本三丰 | 作者:Gewtec1 | 发布时间: 1533天前 | 2158 次浏览 | 分享到:



1.
半导体缺陷分析仪(探针台)

使用探针台(半导体缺陷分析仪的一种类型)进行显微操作时,需要将探针(电极)插入显微镜下的铝线圈,以进行传导性检测。(见图1)

如果物镜的工作距离过短,操作起来可能会非常困难。因此,这种情况下就需要使用超长工作距离物镜,通过装配三丰“FS 70系列”和“VM-ZOOM”,并与显微镜超长工作距离物镜系列产品并用,能够实现最佳性能。M Plan ApoM Plan NIRM Plan NUVM Plan UV等几乎全部型号的FS物镜系列产品,均可有效地用应于该领域。

图1 探测作业示意图


2.
激光加工

使用显微镜进行激光微加工的最常用方法是掩膜投影法,这种方法通常要使用一个装有显微镜的YAG激光仪。(见图2)最初只将YAG基波(1064nm)用于此领域,后来又陆续开发出使用第二谐波(532nm)、第三谐波(355nm)和第四谐波(266nm)的激光仪,今后还可能会开发出其它形式的激光仪。此外,准分子激光已作为YAG激光的替代品并投入使用。与这些产品配套使用的三丰物镜包括NIR系列、 NUV系列和UV系列。用户可根据实际需要选用最适合的类型(从近红外线范围的热处理到紫外线范围的光学处理)和根据具体材料选择最适合的激光种类。由于这些物镜具有长工作距离,加工过程中很少会出现蒸发物污染镜头的情况。因此,加工厚玻璃罩内的真空室或气体环境中的工件就显得较为容易。超长工作距离物镜还可用于修复半导体掩膜和LCD,或与装配在“FS 70” 或“VM-ZOOM”激光端口上的三丰显微镜一起安装在探针台,组成激光显微镜后,可通过激光剥离纯化层进行检测。

图2 激光加工光学系统范例


3. CNC
视像测量仪

今天,测量仪器制造商正不断地推出各种装有显微镜系统的CNC视像测量仪,规格相当齐全。这些产品具有许多通用功能,例如降低检测工作成本、提高工作效率,即使没有经验的用户也可以用其得出精确的测量结果,改善了工作环境、工作更轻松等。

三丰已经开发出可测量多种工件的Quick Vision系列和Quick Scope系列等多款产品。这些产品也可使用超长工作距离物镜。在视像测量仪领域,长工作距离物镜的需求非常广泛,尤其是能够进行大阶差工件测量的三丰产品。此款多功能产品应用范围十分广泛,深为用户所青睐。

图3 Quick Vision
Hybrid QVH250-PRO


4.
通过平行平板玻璃观察

三丰推出的“G Plan Apo系列”可满足此项任务的需求。尽管用户需要的规格多种多样,各不相同,但这些产品全面涵盖了从红外线到紫外线的大范围波长,使用了光学玻璃,而且还有石英、宝石玻璃、钻石,甚至液体等多种并行平面材料,厚度约为0.5mm20mm以上。此外,有些用户还提出了对高NA型产品的需求,其应用范围也非常广泛,包括观察和激光加工以及作为聚光透镜使用等。因此,FS物镜显微镜系列产品几乎可以满足上述用户纷繁复杂的多种需求。图5为使用普通物镜显微镜无法完成,而使用超长工作距离物镜显微镜可以完成的一些工作,包括高温室、低温室、真空室、充气室内的工件和悬浮于液体中的工件的观察等。用户可根据规格定制所需的色差校正功能,某些功能可重复用于光学系统,从而可为用户节省成本。超长工作距离物镜的特点之一就是用户可随时订购这些产品的透镜。

图4 通过平行平板玻璃观察


5.
其它

还有许多采用了超长工作距离物镜的其它类型的光学设备和光学测量仪器。以下为大家简要介绍几款典型产品。

   Hot

  电子显微镜

  用于半导体缺陷分析和漏射弱光检测

   Interferometer

  微型菲佐(Fizeau)干涉仪

  装配有显微镜物镜的菲佐干涉仪

  Linnik干涉仪

  Michaelson干涉仪装配有一对显微 镜物镜,一个用于参照用光学系统,另一个用于工件测量光学系统,两个透镜具有相同的波形曲率色差。

   激光修复仪

  用于半导体和掩膜缺陷的激光修复。

   显微分光装置

  使用显微镜测量微小部分的反射分光特性。


 结论

上述“FS超长工作距离物镜系列”具有长工作距离,可操作性更强,可观察波长范围更大,并成功实现了普通物镜显微镜无法实现的许多功能。显微镜光学系统应用范围的扩大得到了广大用户的一致肯定和欢迎。

FS超长工作距离物镜系列,全面满足了用户的需求,并且每年都有许多新型号产品加入这一产品阵容。为继续更好地服务用户,三丰在未来的几年中将进一步扩大“FS超长工作距离物镜系列”的产品阵容。

 

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