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上海晰微光电技术有限公司
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光学薄膜厚度测量系统

光学薄膜厚度测量系统

光学薄膜厚度测量系统


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光学薄膜厚度测量系统


NanoCalc是一种用户可配置的膜厚测量系统，它利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度，可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中。

利用白光干涉测量法的原理，NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随膜厚的不同而变化，NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中，不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm，只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量，这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等，通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。

1nm以上的金属膜厚也能测量，只要不是完全不透光的。对于已知的系统，3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。

通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异，NanoCalc的算法充分考虑到了这一点，从而可以在比较粗糙的表面进行测量。

产品主要优势和特点

  • UV/VIS/NIR高分辨率的配置
  • 测量准确度在1nm，精度在0.1nm
  • 可测量最大10层薄膜
  • 膜厚测量最小可至1nm，最大可至1mm
  • 可测量最小1nm厚的透明金属层
  • 提供试验台及附件用于复杂外形材料的测量
  • 对表面缺陷和光滑度不敏感
  • 庞大的材质数据库，保证各种材料的精确测量

快      速：

每次测量只需轻点一下鼠标，测量结果立即呈现在显示屏上，不到一秒钟。应用于在线模式下，可接受到采样信号后，立即测量。

准      确：

分辨率0.1nm，重复性0.3nm，绝对准确度优于1%，并且还有数百种材料组成的庞大材料库，帮助您准确分析您的薄膜。同时NanoCalc为光学测试系统，无任何运动部件，不会由于多次测量产生回程误差等机械运动误差，可长时间稳定工作。

无      损：

光学无损检测，无需像台阶仪、SEM等需破坏样品进行测量。

灵      活：

重量约为3.5kg，体积为180*150*263mm，USB连接方式，自适应90-240V的电压，携带方便，安装简单，可任意放置于实验室、生产线甚至办公桌上使用。拥有多种特种配件，可适用如非平面测量，显微测量，mapping等特殊要求。

易      用：

软件界面直观，操作简便，用户体验出色。无需专业知识以及复杂的技术培训，预先设置好测试配方后，每次重复调用即可。

性价比高：                                           

相对于传统膜厚测量设备，NanoCalc拥有非常高的性价比。

应用领域

半导体

SiO2

光刻胶

SOI等

LCD/TFT/PDP

液晶盒厚

聚亚酰胺

ITO等

LED

SiO2

光刻胶

ITO等

触摸屏

ITO

AR Coating

反射/透射率测试等

汽车

防雾层

Harding Coating

DLC等

医学

聚对二甲苯涂层

球囊/导管壁厚

药膜等

太阳能

TCO

CIGS

CdS/CdTe

A-Si等

聚合物薄膜

PET

PC

亚克力等

 

眼镜

AR Coating

Harding Coating

 

 

技术参数

产品型号 NanoCalc-VIS NanoCalc-XR NanoCalc-DUV
波长 400-850nm 250-1100nm 200-1100nm
厚度范围 50nm-20um 10nm-100um 1nm-100um
产品型号 NanoCalc-NIR NanoCalc-VIS-NIR NanoCalc-XR-NIR
波长 900-1700nm 350-1700nm 250-1700nm
厚度范围 100nm-250um 50nm-150um 10nm-250um
分辨率 0.1nm
可重复性 0.3nm
绝对准确度 <1%（50nm-100um）
层数 1~10层
距光纤距离 1~5mm
距镜片距离 5-100mm
入射角 90°通常
光斑大小 400um
显微光斑大小 1-20um
光纤长度 2m（可定制）
通讯接口 USB/RS232
功耗 12VDC,1.2A
电源 90-240VAC 50/60HZ