近日,上海晰微光电技术有限公司(以下简称“晰微光电”)正式推出全新193nm窗口片产品。该产品针对深紫外波段光学应用场景专项优化,在193nm波长下透过率高达98%,兼具超高品质稳定性与高性价比优势,成功突破传统193nm光学元件的性能瓶颈,可广泛适配半导体光刻、光谱分析、激光加工等高端精密光学领域,为全球客户提供更具竞争力的光学解决方案。
作为精密光学领域的深耕者,晰微光电始终聚焦高端光学元件的研发与制造,依托成熟的光学冷加工与精密镀膜核心技术,针对193nm深紫外波段的应用痛点,打造这款高性能窗口片。产品选用超高纯光学基材,采用真空坩埚提纯与精密抛光工艺,搭配定制化抗反射镀膜技术,有效降低表面反射损耗,确保193nm波长下的高透传输,同时将杂散光抑制率控制在极高水平,保障光学系统的成像精度与信号纯度。
相较于市场同类产品,晰微光电193nm窗口片具备三大核心优势:一是高透高效,193nm波长透过率直达98%,远超行业平均水平,大幅提升光学系统的能量利用率;二是品质可靠,基材杂质含量控制在ppb级别,表面粗糙度Ra≤0.5nm,具备优异的热稳定性与化学惰性,可耐受复杂工况下的长期稳定运行,有效延长光学系统使用寿命;三是高性价比,依托公司自主研发的生产工艺优化,在保障高端品质的同时严控成本,打破高端193nm光学元件的价格壁垒,让更多客户可便捷获取高性能光学解决方案。
据悉,193nm波段作为深紫外光学领域的核心应用波长,广泛应用于半导体193nm沉浸式光刻、深紫外光谱分析、激光微加工、环境监测等关键场景,对光学元件的透过率、稳定性提出极高要求。晰微光电这款193nm窗口片的推出,不仅完善了公司在深紫外光学元件领域的产品布局,更凭借精准的性能适配,可直接替代同类进口产品,助力国内高端光学设备的国产化替代进程。
晰微光电相关负责人表示,此次193nm窗口片的上市,是公司技术创新实力的又一重要体现。未来,公司将持续深耕精密光学领域,聚焦全球客户的核心需求,不断推进光学元件的技术迭代与产品升级,优化生产工艺,提升产品竞争力,为半导体、医疗、激光、科研等领域的发展提供更优质、更高效的光学支撑,致力于成为全球值得信赖的精密光学元件供应商。
目前,晰微光电193nm窗口片已完成批量生产准备,可根据客户需求提供定制化尺寸、厚度及镀膜方案,欢迎全球各地客户垂询洽谈,共探精密光学领域的创新应用可能。
关于上海晰微光电技术有限公司:
上海晰微光电技术有限公司专注于精密光学元件的研发、生产与销售,核心产品涵盖各类光学窗口片、滤光片、透镜等,凭借精密光学冷加工、高透镀膜等核心技术,为半导体、医疗成像、激光系统、工业检测、科研仪器等领域提供定制化光学解决方案,始终以“品质为先、创新驱动、客户至上”为理念,深耕行业、精益求精,助力全球精密光学产业高质量发展。
