振动控制技术

在光学平台中，“噪声”指的是三种类型的振动：地面振动，声学振动和台面力。地面振动来自平台下方的 地面，可能是由脚和车辆交通、风和建筑物的振动造成的。声学噪声来源于通过空气和墙壁传播的声波。台面力 是由工作表面上的振动引起的，例如移动的定位台或者真空系统管。光学平台系统这个术语通常指的是振动隔离 系统，即台面加上支撑系统（见图1）。这类平台通常有几个等级，由其减振水平决定。用于一般用途的基本 光学平台适合于安静的环境，提供很少或者没有振动阻尼机制，但是其蜂窝复合结构，为对振动相对不敏 感的一般光学实验提供了刚性平台，例如光谱学实验、速度测量学实验和与相位无关的实验应用。

中级平台通常加入宽带阻尼或者中等水平的调谐质量阻尼器，以降低平台对扰动的柔量。此类平台通常是生 物成像、拉曼光谱学、微定位和机械加工等实验的首选。对于干涉仪、纳米定位和成像等要求更高的应用，或者 振动和噪声过大的实验室，应该使用更高性能的平台，以提供最大阻尼，从而为应用提供最平稳的平台表面。此 类平台包含更多调谐质量阻尼器或者主动阻尼器。构成这种振动控制系统的各种部件是本节的主题。