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上海晰微光电技术有限公司
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极紫外平面反射镜

极紫外平面反射镜

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极紫外平面反射镜是多层反射镜，在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上，表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束，而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.


  • 最大可实现 13.5nm 反射

  • 专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计

  • 5°和45°自动光学检验的可用版本

产品

标题产品编码Dia. (mm)表面平整度 (P-V)基底后表面表面质量涂层规格涂层镀膜类型AOI (°)CA (%)DWL (nm)
13.5nm, 25.4mm Dia, 5° AOI, EUV Flat Mirror38-75925.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon Commercial Polish 10 - 5 Rabs >60% @ 13.5nm, 5° (s-pol) Mo/Si Multilayer Top Layer: Silicon Metal/Semiconductor 5 90 13.5 
13.5nm, 25.4mm Dia, 45° AOI, EUV Flat Mirror38-76025.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon Commercial Polish 10 - 5 Rabs >65% @ 13.5nm, 45° (s-pol) Mo/Si Multilayer Top Layer: Silicon Metal/Semiconductor 45 90 13.5