高分辨率显微镜载玻片靶采用高精度电子束光刻技术设计。这些图案蚀刻在光谱透射范围广泛 (DUV-VIS-NIR) 的 10 × 10mm² 熔融石英基底上，在该衬底上施加高光密度的铬层。通过去除铬层，形成尺寸低至 100nm 的图案。高分辨率显微镜载玻片靶提供优异的尺寸稳定性，并安装在金属显微镜载玻片支架中。每个靶上的负片图案允许结构透明，而背景被铬层阻挡。

高分辨率显微镜美国空军USAF测试目标板

高分辨率显微镜美国空军USAF测试目标板可轻松确定透射光中物镜的分辨率极限，并由 59 个图案组成，水平和垂直排列的线图案为 7.5 至 3300 lp/mm。该测试目标板还具有 5 个直径在 4.0-0.25μm 之间的针孔，可用于微成像光学元件的详细表征。

高分辨率显微镜星测试目标板

高分辨率显微镜星测试目标板由 5 颗西门子星组成，其特点是星中心的锥形部分精确制造的最小宽度为 150nm。该测试目标板非常适合于确定具有非常高数值光圈的显微镜物镜的分辨率。

高分辨率显微镜检查板

高分辨率显微镜检查板的特点是 50 x 50 平方微米的正方形总尺寸为 9.0 x 9.0 平方毫米。检查板非常适合于测试图像歪斜和曲率，以及确定由于直线和锐边导致的图像质量。

• 小图案尺寸 - 100nm 和 3300 lp/mm

• 采用高精度电子束光刻技术制作

• 负片图案设计

产品概览

高分辨率显微镜美国空军目标

高分辨率显微镜美国空军目标很容易确定物镜在透射光中的分辨率极限，由59条水平和垂直对齐为7.5至3300 lp/mm的线图案组成。该靶还具有5个直径在4.0-0.25μm之间的针孔，可以对微成像光学元件进行详细表征。

高分辨率显微恒星靶

高分辨率显微镜恒星靶由5颗西门子恒星组成，其特点是恒星中心的锥形段被精确地制造成最小宽度为150nm。该目标是确定具有非常高数值孔径的显微镜物镜分辨率的理想选择。

高分辨率显微镜检查板

高分辨率显微镜检查板的总尺寸为9.0 x 9.0mm²，共有50 x 50µm²的正方形。棋盘是测试图像倾斜和曲率的理想选择，同时也可以确定由于直边和锐边导致的图像质量。