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上海晰微光电技术有限公司
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极紫外 (EUV) 二向色滤光片

极紫外 (EUV) 二向色滤光片

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极紫外（EUV）二向色滤光片也被称为分束镜，是通过在极紫外（EUV）和近红外波长之间提供高分离效率，用于高次谐波产生的应用。这些滤光片采用熔融石英基片，相比其他布鲁斯特角光束分离器和极紫外（EUV）滤光片，能支持更高的激光功率。极紫外（EUV）二向色滤光片的带宽范围从10纳米到40纳米。 除了高次谐波产生，这些滤光片还可用于支持极紫外（EUV）应用的系统，如EUV光刻、EUV纳米加工、相干衍射成像和超快阿秒脉冲产生。


  • 在高次谐波发生器中将极紫外（EUV）与近红外激光源分开

  • 专为高损伤阈值设计

  • 支持从10 - 40纳米的应用

  • 现货储备

  • 无最小起订量、无镀膜批次收费



                          产品

标题产品编码Dia. (mm)AOI (°)基底涂层反射 (%)表面质量厚度 (mm)类型平行度（弧分）尺寸容差 (mm)波长范围 (nm)
10-25nm, 50.8mm Dia, EUV/IR Dichroic Filter18-27950.80 78 Fused Silica (Corning 7980)Dielectric Multilayer AR >35 20-10 5.08 ±0.1Dichroic Filter <5 +0.0/-0.2 10 - 25 
20-40nm, 50.8mm Dia, EUV/IR Dichroic Filter18-28050.80 78 Fused Silica (Corning 7980)Dielectric Multilayer AR >40 20-10 5.08 ±0.1Dichroic Filter <5 +0.0/-0.2 20 - 40