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DUV 266nm 深紫外平场复消色差物镜 PLAN DUV 266nm APO
DUV 266nm 深紫外平场复消色差物镜
PLAN DUV APO 266nm
| 产品型号 | 放大倍率 | 数值孔径(NA) | 工作距离WD(mm) | 焦距 f′(mm) | 分辨率 R(μm) 550nm | 景深 DOF(μm) | 物方视野Object(mm) | 芯片尺寸Image(mm) | 波长范围(nm) | 接口 |
| DUV010X | 10x | 0.30 | 15.00 | 20.00 | 0.54 | 1.80 | 2.00 | 20.00 | 266nm | RMS |
| DUV020X | 20x | 0.36 | 13.00 | 10.00 | 0.45 | 1.25 | 1.00 | 20.00 | 266nm | RMS |
| DUV050XL | 50x | 0.42 | 6.00 | 4.00 | 0.36 | 0.33 | 0.40 | 20.00 | 266nm | RMS |
| DUV050X | 50x | 0.70 | 3.60 | 4.00 | 0.23 | 0.31 | 0.40 | 20.00 | 266nm | RMS |
| DUV080X | 80x | 0.90 | 1.00 | 2.50 | 0.18 | 0.20 | 0.25 | 20.00 | 266nm | RMS |
| DUV100X | 100X | 0.90 | 1.00 | 2.00 | 0.18 | 0.20 | 0.20 | 20.00 | 266nm | RMS |
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