在干涉测量、激光共聚焦、微区拉曼扫描、半导体晶圆检测、精密光学对准、薄膜表征等对定位指标要求严苛的科研与工业场景，普通丝杆位移台难以满足纳米级重复定位需求。Zaber™高精密电动调整台系统以LDM、LDA 系列直线电机平台为核心，属于无接触直驱式精密运动模组，搭配交叉滚子导轨与高分辨率线性光栅编码器，支持单轴、XY、XYZ 模块化组合，组成整套精密运动系统。上海晰微光电可为客户提供 Zaber 高精密电动调整台系统选型、多轴方案设计、控制调试及配套光学平台整体方案。

Zaber 高精密电动调整台系统采用直线电机直驱结构，取消丝杆传动，无回程间隙、磨损小、运动顺滑安静，适合洁净室环境。搭载 1nm 分辨率线性编码器，LDM 系列单向精度可达 1μm，重复定位低至 50nm，最小移动增量 12nm；LDA 紧凑型版本适合空间受限光路，最高运动速度可达 800~1200mm/s，兼顾高速与超高定位稳定性。导轨采用交叉滚子轴承设计，运动平直度高、刚性强，有效降低俯仰、偏摆误差，保障长时间连续扫描、多点定位、闭环追踪的稳定性。

全系内置一体化伺服控制器，原生支持 Zaber 菊花链总线，可和 Zaber 电动 XY 显微镜载片台、电动滤光片轮、大行程 LRT 调整台接入同一控制链路，多轴同步触发，仅单根数据线串联，大幅简化自动化光路布线。通信兼容 Zaber ASCII 协议，配套 Zaber Launcher 调试软件、开源 SDK，支持 Python、LabVIEW 等二次开发，可同步联动相机、光谱仪、激光器，实现 Mapping 扫描、自动对焦、光学对准等自动化流程。Zaber 还提供垂直版本（带磁力平衡配重），用于 Z 轴垂直方向精密定位，断电锁止，防止负载滑落。

产品核心特点

• 驱动形式：无接触直线电机直驱，无丝杆背隙；

• 反馈方案：1nm 线性光栅编码器，全闭环；

• 导轨结构：交叉滚子导轨，高平直度、高刚性；

• 组合形态：单轴、XY 平面台、XYZ 三维系统自由搭建；

• 拓展能力：菊花链组网，与全系 Zaber 运动器件联动；

• 适用环境：可选洁净版本，适配 ISO4 洁净间；

• 配套软件：Zaber Launcher、开放 API，支持上位机集成。
  

Zaber™高精密电动调整台系统典型应用场景：微区拉曼 / 荧光光谱 Mapping、干涉轮廓测量、光学元件精密对准、半导体芯片检测、生物超分辨显微、激光微加工、薄膜光电检测等。对比传统丝杆平台，它在需要高频往复扫描、纳米级定位、长寿命低粉尘的场景优势突出，是光学实验室、精密检测设备集成商的主流选择。

上海晰微光电一站式配套 Zaber 全系电动位移产品，除本款 LDM/LDA 高精密直线电机系统外，同时供应 Zaber 大行程电动调整台、XY 显微镜载片台、电动滤光片轮，搭配隔振光学平台、光学面包板、光学调整架等配套器件，为客户提供整套自动化光学检测系统方案。我们可以根据行程、负载、精度、扫描速度、洁净等级需求，匹配 LDA/LDM 合适型号，输出多轴堆叠结构、同步触发方案。                        

产品详情

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