三线摆杆式气浮隔振光学平台 GEWP-T 系列

三线摆气浮隔振平台为上海晰微光电结合多年在隔振领域的研发及应用经验，开发的一款高性能气 浮隔离器，支腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到更低的 水平，并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，层流阻尼技术大大提高阻尼效率，混合腔设计极大增加给定的尺寸下的柔性体积，同时有效降低了固有频率(台面可选配 TMD 调谐质量阻尼器)。

上海晰微光电支持各种尺寸定制，根据客户所需，可按需定制，支持定制任意尺寸，如有其他尺寸需求，欢迎前来咨询。

 型号命名：GEWP-T-15-09

• 系列代号：气浮隔振光学平台

• 台板长度：12:1200mm /15:1500mm /18:1800mm

• 台板宽度：09:900mm /10:1000mm /12:1200mm

性能指标

• 固有频率：垂直方向：1.0~2.0Hz；水平方向：1.0~1.5Hz；

• 隔振效率：垂直方向：5Hz 时：80~88%；10Hz 时：90%~95%；水平方向：5Hz 时：85~95%；10Hz 时：90%~98%；

• 隔振方式：三线摆杆隔振系统 + 空气弹簧；

• 阻尼方式：多孔孔阻尼；

• 调平方式：气动控制自动调平；

• 工作台面：蜂窝焊接或蜂窝粘接 (带独立隔离杯) 不锈钢面包板；

• 平面度：≤0.05mm/m²；

• 表面粗糙度：≤0.8μm，表面亚光处理；

• 安装孔：公制 M6 螺纹孔；

• 安装孔间距：25mm；

• 安装孔距边：37.5mm；

• 总高度：800mm；

• 总高度可调范围：-10~+15mm；

• 工作气源：静音无油空气压缩机；

• 最大空气压力：0.6MPa；

• 工作空气压力：0.3~0.4MPa；

• 水平重复精度：±0.5mm；

应用领域

• 显微镜观测设备、医疗生物领域；

• 光学测量、光学实验等；

• 精密检测领域等；

• 激光干涉、光谱类实验等；

• 对环境振动有较高要求的设备；

隔振效率

细节介绍

选型表

【联系方式】

公司名称： 上海晰微光电技术限公司

电　　话： 021-5427 0855

手       机：136 6171 6328

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