三丰 WLI Plan Apo 白光干涉物镜｜Mirau 型 3D 形貌测量｜非接触高精度检测

三丰WLI Plan Apo 系列白光干涉物镜，是日本三丰专为白光干涉测量（WLI） 系统打造的核心光学组件，与三丰 WLI-Unit 测头深度配套。采用 Mirau 型干涉光路，内置分光镜与参考镜，标配干涉条纹调节机构，以平场复消色差、高 NA、长工作距离、小型轻量化为核心优势，实现纳米级非接触式三维表面形貌、粗糙度、台阶高度与薄膜厚度测量，广泛应用于半导体、精密制造、光学元件、MEMS 等高端检测场景。

核心技术优势

1. Mirau 型一体化光路，即插即用

内部集成分光器与参考镜，无需外部干涉模块，直接适配三丰 WLI-Unit 测头，简化系统集成，提升测量稳定性。标配干涉条纹调节装置，可快速校准条纹状态，优化干涉信号，降低环境温度影响。

2.Plan Apo 平场复消色差，全视场零畸变

采用平场复消色差设计，在整个可见光范围内实现完美色差与场曲校正，确保从视场中心到边缘成像均匀、无畸变，适配大尺寸工业相机，提升测量一致性。

3.宽光谱白光适配，Z 轴纳米级精度

专为宽带白光优化，利用白光短相干长度特性，实现垂直方向纳米级扫描测量，Z 轴分辨率可达 4nm，高度测量精度不依赖光学倍率，低倍率下也能实现高精度检测。

4.全倍率覆盖，长工作距离设计

提供 **1×–50×** 完整倍率系列，高 NA（0.1–0.55）与长工作距离（4.5–13.2mm）兼顾，适配深槽、高台阶等复杂结构测量，齐焦距离 60mm，兼容三丰 Quick Vision WLI 等测量系统。

5.高适配性与工业级耐用

多层专业镀膜提升干涉信号对比度，可同时适配高、低反射率样品，无需频繁更换物镜。小型轻量化设计减少震动干扰，抗污染、抗反射，适配工业车间长期稳定使用。

核心参数（WLI Plan Apo 系列）

典型应用场景

半导体行业：晶圆表面粗糙度、光刻胶台阶高度、薄膜厚度、微电路形貌检测。

精密制造：精密模具、刀具、齿轮、航空航天构件的 3D 形貌与表面质量检测。

光学元件：透镜、棱镜、非球面镜、光学薄膜的面形精度与厚度测量。

MEMS 器件：微机电系统三维形貌、结构尺寸非接触检测。

材料科学：金属、陶瓷、聚合物、涂层材料的表面微观结构分析。

产品价值

高精度：纳米级 Z 轴分辨率，满足高端制造与前沿科研的严苛精度要求。

非接触：无损检测，避免样品损伤，适配软质、易碎、高反光样品。

高效率：单次测量获取完整 3D 形貌数据，适配高低反射率样品，提升批量检测效率。

高兼容：标准接口，无缝适配三丰 WLI-Unit 及 Quick Vision WLI 测量系统，降低集成成本。